富油脫苯裝置的目的是將來自煤氣洗苯的富油脫去其中的輕重苯，使洗油得以再生，重新返回煤氣洗苯裝置循環使用。
原有工藝是利用水蒸汽和其中的苯、甲苯等物質能夠形成*低共沸物的原理，將苯類物質在較低的溫度下（未達到洗油的沸點）蒸汽吹脫，使洗油得以再生。由于吹入蒸汽在塔頂冷凝變為冷凝水時不可避免溶解部分芳烴物質，無法工藝回用和直接排放，須送入廢水系統，因此，采用蒸汽提餾過程，廢水的產生量較大。
采用負壓脫苯的工藝原理是依靠減壓操作條件，降低富油沸點（遠離富油常壓下的沸點）并提高苯類物質的相對揮發度，在低于常壓操作溫度的條件下將苯類物質從富油中蒸脫，使富油得到再生。由于此過程未引入水蒸汽，因此，具有明顯地減排作用。同時，負壓操作提高了組分間的相對揮發度，也具有較好的節能效果。
